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真空箱法---质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，密封焊接件---检漏公司，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。

工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：---气储存罐(高压罐)，---气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充---回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭v1，打开v2

2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力，稳定，关闭v2

3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断v3、v5，密封焊接件---检漏，打开v2对---气进行回收。

4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，密封焊接件---检漏多少钱，检漏仪声光报警，将：工作内的---气回收，对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的---分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。

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---质谱检漏仪

---质谱检漏方法比较多，根据被检件的测量目的可以分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法，要以被检器件的具体情况而定，灵活运用各种检漏方法。

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