




真空测量装置:采用复合真空计,真空储存柜多少钱,使测量准确。
加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,真空储存柜品牌,控制精度:±1℃。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了---的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了---的物质基础。
1. 腔室内尺寸:号宽1050x高200x深700mm 号宽1050x高380x深700mm;
2. ---真空度:2×10-5pa;
3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除---能,±3℃;
4. 整体结构型式:泵箱一体,三个腔室;
5. 观察窗:每一个箱室均配一个φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;
6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,可手动独立控制工作;
7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。
本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。
机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。
真空箱室单元由真空箱、真空测量装置、加热烘烤组件、管道阀门等组成。
真空箱:采用304不锈钢材质制造,分为上中下三个独立的真空箱室,其内表面在加工后经除油、电抛光处理,---了较少的藏气,提高了真空箱室的抽空效率和---真空。真空箱室外部有加强筋,---真空箱室承压能力。每个真空箱室门中间部位各具有一个φ100石英观察窗,真空箱室与真空获得系统采用柔性软管连接,天津真空储存柜,方便快捷,并减少震动。真空箱室开门为上中下三开门,氟胶圈型式密封,向右侧侧开门。
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