北京科创真空-硅片除气装置公司-北京硅片除气装置

真空除气储存柜的加热系统

1、加热区尺寸：定制

2、加热功率：30-80 kw（实际功率可调）

3、加热元件：钼片

4、隔热组件：钼+不锈钢

5、温度测量：s型热电偶

6、控温精度：±1℃

7、升温速率 ：由室温升至1000℃小于80min（空载）

8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用99刚玉陶瓷，---体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310s）板材料，北京硅片除气装置，并且焊接多道加强筋以---不变形。

9、加热控制：采用pid智能控温模块设计，可编辑30+段升温曲线，存贮20+组工艺配方，组合plc等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，硅片除气装置公司，具有操作方便，硅片除气装置厂家，功能---，稳定性好等特点。

真空除气炉、真空存储柜的质保

设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。

设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括：（1）在正常情况下，在保修期间内非人为因素引起的一切设备问题和自然磨损；（2）备品备件清单，供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。（3）在保修期内由需方使用不当造成的维修，只收需方的材料费。