硅片除气装置价格-河北硅片除气装置-科创真空

真空除气储存柜的加热系统

1、加热区尺寸：定制

2、加热功率：30-80 kw（实际功率可调）

3、加热元件：钼片

4、隔热组件：钼+不锈钢

5、温度测量：s型热电偶

6、控温精度：±1℃

7、升温速率 ：由室温升至1000℃小于80min（空载）

8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用99刚玉陶瓷，---体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310s）板材料，并且焊接多道加强筋以---不变形。

9、加热控制：采用pid智能控温模块设计，可编辑30+段升温曲线，存贮20+组工艺配方，组合plc等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能---，稳定性好等特点。

真空除气储存柜

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，硅片除气装置价格，分为上中下三层箱室，均可独立工作。

加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用99刚玉陶瓷，---体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310s）板材料，并且焊接多道加强筋以---不变形。