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半导体真空腔体制造技术 

真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中，不锈钢真空腔体加工，是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井——这些构成一个完整的真空腔体。

复杂的真空腔体通常需要定制，即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计，如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如脱气箱和手套箱一般采用低真空环境，可用于焊接，不锈钢真空腔体加工价格，或用于塑料制品、复合材料层压板、封装组件等的脱气。

真空设备包含很多组件，如真空腔体，真空密封传导件，视口设置，真空传感器，真空显示表，沉积系统，蒸发源和蒸发材料，不锈钢真空腔体加工，溅镀靶材，等离子刻蚀设备，离子注入设备，真空炉，法兰，阀门和管件等。真空设备常用于脱气，焊接，制备薄膜涂层，生产半导体/晶圆、光学器件以及特殊材料等。

真空腔体

磁体腔体从2000l液---减少到7l液---，那正常磁体里面不放液---放成低温---气不就行了，反正超导线圈的超导温度也高于4k，这个技术国产厂家都有。

回答：从实验室的角度来看这句---的---，而且国产厂家新xxx也已经有类似的技术面世了，但是这仅仅是理论。具体来看为了保持磁体内部始终处于---气的状态，那就需要冷头控制磁体腔体的温度在一个非常小的范围，既不能液化，也不能温度过高，那么冷头需要重新制作甚至需要多冷头共同工作。同时---气在腔体内可不是静止不动的，而是随着冷头热交换进行复杂的湍流，因此造成的结果就是基本几个小时可能就会失超，那么这种技术就不具备工程应用价值。

真空腔体常用的清洗方法

1、放电清洗

放电清洗一般用于高真空、真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.

2、氮气清洗

氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短，容易被抽走的特性，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间.

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