1、加热区尺寸：定制
2、加热功率：30-80 kw（实际功率可调）
3、加热元件：钼片
4、隔热组件：钼+不锈钢
5、温度测量：s型热电偶
6、控温精度：±1℃
7、升温速率 ：由室温升至1000℃小于80min（空载）
8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，硅片除气装置品牌，各层之间采用99刚玉陶瓷，天津硅片除气装置，---体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310s）板材料，并且焊接多道加强筋以---不变形。
9、加热控制：采用pid智能控温模块设计，可编辑30+段升温曲线，存贮20+组工艺配方，组合plc等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，硅片除气装置厂家，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能---，稳定性好等特点。
保修期满后，供方将以优惠价格向用户提供备品备件，并对设备提供有偿技术和维修服务；
设备安装调试时，对用户进行技术培训，培训内容包括设备的工作原理、操作、安全、维修、质控等。
设备日常维护包括真空泵的油位检查、电机有无异响、电压电流是否正常、水冷机制冷与流量是否存在异常。真空室内保持清洁，不得有灰尘、异物或者溅入液体以及腐蚀性物质。应当定期对箱室清洁，硅片除气装置公司，可以进行酒精擦拭、氮气吹扫等。
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。具备以下主要功能：
1. 对储存箱室抽真空；
2. 控制储存箱室恒压稳定；
3. 具备加热烘烤功能；
4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能；
5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；
6. 具备自动和手动两种操作模式；
7. plc控制，触摸屏操作
北京科创真空(图)-硅片除气装置品牌-天津硅片除气装置由北京科创鼎新真空技术有限公司提供。北京科创真空(图)-硅片除气装置品牌-天津硅片除气装置是北京科创鼎新真空技术有限公司今年新升级推出的，以上图片仅供参考，请您拨打本页面或图片上的联系电话，索取联系人：任经理。
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