硅片除气装置-北京硅片除气装置-科创真空

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    2024-3-16

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真空除气储存柜主要参数

1、炉型结构:卧式与立式,单室与双室或多室,炉体炉门采用双层水冷,前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。

2、---温度:1500℃

3、工作区尺寸:按照用户需求定制

4、设备总功率:20-100 kw(含加热系统、真空机组、制冷机)

5、电源频率:50hz

6、电源电压:三相380 v(±10v)




真空除气存储柜工艺流程

真空除气存储柜、真空除气炉的控制操作可以选择手动与自动两种模式。

该设备有两种工艺流程:常温保压工艺与加热除气工艺。用户可根据实际情况需要,在设备上设定需要的执行功能与详细的目标参数。当用户设定参数之后,系统即按照用户的设定参数默认执行。

设备具有---的智能化,当用户设定的参数目标值存在错误或逻辑冲突时,硅片除气装置厂家,系统会及时提醒并不能按照错误的数据启动运行设备。并可以提供20+组不同的参数组,供客户选择和修改。并且具备工艺记忆功能,方便客户的使用。




真空除气储存柜的使用

1、真空除气装置,真空除气炉报价,硅片除气装置,在抽真空之前放置好产品、关闭箱室门,然后启动抽真空,加热系统持续不间断渐热。真空除气炉公司,达到设定真空度时,保持加热并持续保持真空度,设定工艺完成后,自动停止抽真空,加热系统关闭。当进入维持真空模式时,低于下限的时候自动启动;(启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空破空)

2、真空度设定操作见操作说明书,北京硅片除气装置,用不到的功能禁止调整。

3、试验时间完成后,自动破空,破空完成后,方可开门取出产品。




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