1设备的分子泵不启动
分子泵不启动，主要有检查供电和前级真空是否正常（较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动）。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。
2设备的质谱室不能正常工作
质谱室主要是灯丝无---常加电，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。
3前级机械泵工作不正常
主要经常观察泵油的颜色是否正常，粉尘的污染会使油色变黑，水汽会使油色呈现乳白色，都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动，过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作，使用机械泵的环境温度在+10至+40之间使用。
检漏技术在我国经济中占有非常重要的---，便携式---质谱检漏仪，被广泛应用于半导体、原子能、电力、航空、航天、、制冷、真空、汽车等行业。
---质谱检漏法与泡检漏法、压强衰减法和卤素检漏法相比，除检漏原理不同以外，还具有监测灵敏度高，速度快、适用范围广，探索气体---性、无破坏性、轻等优点，是诸多检漏法中有效的方法。
---质谱检漏仪在使用过程中，常见的故障就是灯丝脆断，---质谱检漏仪灯丝多采用钨铼合金丝制作。因为纯钨丝高温使用发生再结晶以后变得很脆，再受到冲击或震动时极易断裂。原因是钨常在晶界面上孕育出微裂纹，这些微裂纹的扩展极易造成钨的碎断。而钨铼合金在变形过程中易形成孪晶，减少了堆垛层位错能量，降低位错移动的晶界阻抗，从而使位错迁移率增加，促使了钨的固溶软化，此现象称为“莱塑化效应”。该效应降低了---质谱检漏仪灯丝在高温下的断裂的风险，铼浓度高时的塑化效应降低。
1.智能化：以往的---质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，便携式---质谱检漏仪生产厂家，自动检测。
2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。
3.自动化程度高：自动校准---峰，自动调节0点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，便携式---质谱检漏仪厂家，菜择功能，一个按钮即可完成全检漏过程。
4.全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，便携式---质谱检漏仪品牌，范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。
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