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真空除气储存柜设备用途 

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成：真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺：半导体硅片除气；3d打印金属工件与合金材料的高真空热处理；x射线管高真空除气。

真空除气储存柜维护要求

真空除气储存柜，又称真空存储箱，用于各类金属材料，化工原料，半导体芯片、电路板、电子器件，电池片、电池材料等其他易氧化材料的真空存储，防潮、防氧化。也可用于胶水的真空脱泡、除气等作用，硅片除气装置，经常在真空灌胶消气泡的工艺过程中应用。

1、放入需要保存的产品，快速抽真空到---真空，可能逐渐回压到一个平衡值，长期保存；

2、放入保存的产品后，启动程序，快速抽至真空下限值，持续保压如箱内回压到上限值之后，会自动启动抽真空至下限值；

3、抽真空至下真空度后，自动充入氮气至常压，在无氧环境下保存产品。

为了提高空间的利用率，通常可以分为两腔，三腔，四腔，硅片除气装置品牌，六腔体等等。根据产品的存放要求，存放时间和工艺产线要求，程序可以做不同的调整。