半导体---检漏设备-北京科创真空公司

真空箱法---质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。

工件抽空系统：低真空泵及阀门，半导体---检漏设备多少钱，低真空测量充氮与回收系统：---气储存罐(高压罐)，---气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充---回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭v1，打开v2

2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力，稳定，关闭v2

3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断v3、v5，打开v2对---气进行回收。

4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的---气回收，对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的---分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。

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真空箱式---检漏系统

科创真空生产、销售---检漏设备，我们为您分析该产品的以下信息。

真空箱式---检漏系统

概述

本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04mpa，对被检工件充注---气，应用真空箱法进行---质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的---气回收循环使用，后向工件内充入规定压力的sf6和氮气工作气体。

回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把sf6电器设备内一定压力的sf6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用r22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的sf6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至sf6压缩机串联运行，半导体---检漏设备生产厂家，直至达到回收终压力。

性能特点

1、安全

★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，---系统本身运行---安全和被检工件的安全。

★ 真空箱门设安全光电保护装置，---操作者安全

★ ---气示踪安全。

★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀---系统安全。

2、高灵敏度

★ 检漏精度高。

★ 抑零功能，消除---本底影响。