




1、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
2.氢气有些性能(如小、易通过漏孔)比---还好,然而由于氢一方面有 危险,另- -方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产:大量的碳和氢,使氢本底---且波动大,---检漏仪报价,以致灵敏度---降低,所以很少采用。
---质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lo-9~10-12pam3/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,真空箱---检漏仪报价,本底噪声---减小.其灵敏度可达10-14~10-15pam3/s,适用于真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流---质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,空调蒸发器---检漏仪报价,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12pam3/s。
逆流---质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如,多级油扩散泵对---气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lo4~106。检漏时,电力开关真空箱---检漏仪报价,通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的---气,仍有部分返流到质谱室中去,并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流---顷质谱检漏仪的工作原理。
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