




---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度p1 优于200 pa 时,真空---质谱检漏仪厂家,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,天津---质谱检漏仪厂家,---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当p1降至20 pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,真空---质谱检漏仪厂家,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将---源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。喷吹时,要严格控制---源的流量,小型---质谱检漏仪厂家,尽量采用喷咀流量小的喷,提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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今天科创真空的小编就和大家来分享一下---质谱检漏仪对示漏气体有哪些要求,希望对您有所帮助!
(1)无害,不能对人体或环境造成伤害;
(2)轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;
(3)化学性质稳定,不会引起化学反应和易1燃易1爆;
(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。

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