




---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,冷凝器---检漏系统厂家,分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,---气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
以下内容由科创真空为您提供服务,希望对同行业的朋友有所帮助。
系统严格按照客户的要求设计制造,北京冷凝器---检漏系统,采用模块化的设计,充分考虑客户的检漏要求,同时也尽可能采用标准化的模块和部件,---了系统的---性和可维护性。真空箱式---检漏设备适用对空腔电力工件进行---质谱检漏sf6充注,首先对工件充注一定压强的干燥压缩空气或氮气,保压判大漏。大漏合格后,对工件和真空箱抽真空,冷凝器---检漏系统,被检工件充注---气,应用真空箱法进行---质谱气密性检测;然后将被检工件内的---气回收循环使用、充注sf6。全电脑控制,全自动检测,排除操作者人为因素导致的误判。自动判断,声光提示。
本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。
本设备适用对空腔电力工件进行---质谱检漏、sf6及氮气充注,首先对工件进行真空内外压强抽空,真空法判大漏。大漏合格后,对工件和真空箱抽真空,被检工件充注---气,应用真空箱法进行---质谱气密性微检漏检测;然后将被检工件内的---气回收循环使用、充注sf6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。
真空箱式---检漏设备 充气柜---检漏设备 环网柜检漏设备
主要技术参数及要求:
1、 真空箱尺寸:长00mm×宽00mm×高00 mm
充---气压力:0.05mpa(可调)
2、 工作节拍:<40分钟/件
3、 箱内接口数量:大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 ---气回收率:95%-98%
5、 可检漏率:≤2.8×10-6pa m3/s
(报警漏率设置1×10-7pam3/s时,应可检出)
6、 保压检测时间:(1-600s可调)
7、 工件真空≤1000pa
8、真空箱检漏真空≤20 pa
9、系统自身漏率:≤10-9 pa m3/s
10、箱门开关方式:自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
1、关键零部件集优采购,---了系统的稳定性和---性;
2、真空箱内---气本底抑零,---了检漏的准确性、;
3、特有的清---系统,---地清除超标的---本底,冷凝器---检漏系统多少钱,---检测的稳定性和准确性;
4、实时监测---气压力和浓度,---了工件检测的精度;
5、可对使用过程中产生的浓度不合格---气进行提纯,---降低---气损耗(功能可选);
6、可同时检测多工件,并能按照需求自动判断出具体的有漏工件;
7、定制的的密封接头,---稳定,减少误判。
8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数,监控一目了然。
9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,---了系统的操作安全及---运行。
今天和大家分享的是---气检漏的主要参数及优势,希望对您有所帮助!
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