真空度
显现了空隙击穿电压和气体压强之间的关系。由图可以看到真空度高于10-2pa时，击穿电压基本上不再跟着气体压力的下降而增大，不锈钢真空腔体加工，因为气体分子碰撞游离现象已不复兴效果。当气体压力从10-2pa逐步升高时(真空度下降)，击穿强度逐步下降，以后又随气压的而。从曲线上可以看出真空度高于10-2pa时其耐压强度基本上坚持不变。这就标明，真空灭弧室的真空度在10-2pa以上时完全可以满足正常的运用需求。
---压力合格，升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4pa·m3/s之间。检漏步骤为：
用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹---气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。
不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量---气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。
向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹---气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入---气，河北真空腔体加工，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。
真空腔体是内部为真空状态的容器，半导体真空腔体加工，很多---的技术工艺均需要在真空或惰性气体保护条件下完成，真空腔体是这些工艺过程中重要的基础设备.
根据真空度真空被分为低真空（100000-100pa），中真空（100-0.1pa），高真空（0.1-10-5pa），真空（10-5-10pa）。低真空主要应用于隔热及绝缘、金属熔炼脱气、无氧化加热、真空冷冻及干燥和低压风洞等;高真空主要应用于真空冶金、真空镀膜设备等领域;真空则偏向物理实验方向。
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