涡旋真空泵生产厂家-北京涡旋真空泵-北京科创真空公司

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涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业:材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、真空排气设备。医院设备行业:透析机、生物制备与---制备。包装行业:食品、---、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统---的配置。







一文了解涡旋真空泵动涡旋盘结构的特点


单面和双面为动涡旋盘上两面是否都有涡旋齿而言,动涡旋盘上只有一面有涡旋齿为单面涡旋泵,动涡旋盘上两面都有涡旋齿为双面涡旋泵。目前国内厂家的产品都为双面设计,国外厂家的产品大多为单面设计

与单---比,北京涡旋真空泵,双面涡旋泵有较高的抽速和自平衡轴向力的优点,涡旋真空泵价格,但是由于---的结构对称性要求,双面涡旋盘的加工制造比较困难

在双面涡旋真空泵的结构中,动涡旋中心要安装两个轴承,轴承和真空室直接相连,即使使用动密封,也会造成返油现象,污染真空环境和影响---真空度,要考虑轴承因真空引起的变形,涡旋真空泵生产厂家,使用真空轴承,轴承长期在真空条件下工作,会降低轴承的寿命

双面涡旋真空泵中要求曲轴较长,增大了曲轴的加工制造难度和成本,如果曲轴稍有变形,就会在很大程度上影响侧向间隙,从而影响---真空度,甚至出现碰齿现象。在单面涡旋真空泵中,轴承可与真空室隔开,清洁度和---真空度提高;结构简单,动涡旋盘和静涡旋盘之间容易拆装,密封条的替换比较容易;曲轴较短,加工制造难度和成本降低。







涡旋真空泵的结构特点

涡旋真空泵主要由5 个部件组成:

(1)动静涡旋盘副与基座;一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错, 两者之间---180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。

(2)曲轴:---动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。

(3)密封件:---动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。

(4) 防自转机构:---动、静盘180°相位差的机构。

(5)电机:输出约1500r/min的动力机构。

它的主要运动件只有一个动涡旋盘,因而动力传递简单,相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小,动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小,泵内运动件与泵腔无摩擦,所以几乎无磨损,运行平稳,消耗功率小,气体流动损失小,工作---性高、---,易于维修,维修费用低。采用空气冷却,无需水冷。







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