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---检漏设备

负压法

负压法是一种常见而方便的检漏方法。当进行---气检漏时，---被连接到充满---气的瓶子中，空调两器真空---检漏系统厂家，并且使用喷将---喷射到泄漏部分。如果---气从泄漏孔流入压力容器装置，装置中---气的分压将上升，泄漏率将显示在---气检漏设备上。它是否合格取决于标准泄漏率。如果超过标准泄漏率，将被视为不合格。

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半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，冷凝器---检漏系统厂家，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过---质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易---，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和---环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。