




---压力合格,升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点,通常在1×10-9~9.9×10-4pa·m3/s之间。检漏步骤为:
用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹---气,遍针头移动的速度可以快些,对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏,在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。
不按压气袋,用针头缓慢地对位置进行检查,漏孔会吸入针头中存有的少量---气,观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化,找到漏率大且上升快的点即是漏点。
向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹---气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入---气,真空腔体加工,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。

1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短,容易被抽走的特性,用氮气冲洗被污染的真空系统,同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空系统的抽气时间.

内漏多发生在有水冷套的设备上,查外漏没有发现疑点。但是却有以下现象;机械泵的抽速明显偏低,真空计示值低,机械泵油很快乳化,真空室内的铁基零部件明显锈蚀,浙江真空腔体加工,具备以上条件基本可以确定有内漏。有一台25kg中频炉,2x一70旋片泵和150罗茨泵两台泵加到一起抽也只能抽到l0pa,150罗茨泵的作用显现不出来,没发现有外漏,真空腔体加工价格,却具备了机械泵油很快乳化,真空室内铁基件明显锈蚀的条件,解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水。剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净,再通冷却水,看有无湿润点,湿润处就是漏点。
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